スパッタリング法による金属酸化物薄膜の材料の設計及び制御に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p6
1.1 緒言
p7
1.2 薄膜作製法
p7
1.3 種種の金属酸化物とその特性
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタリングホウ ニ ヨル キンゾク サンカブツ ハクマク ノ ザイリョウ ノ セッケイ オヨビ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 宮崎英敏 [著]
- Author Heading
- 宮崎, 英敏 ミヤザキ, ヒデトシ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成11年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第14313号