プラズマ・プロセスにより作製した太陽電池用シリコン薄膜の基礎研究
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Table of Contents
論文目録
第1章 緒言
1.1 はじめに
1.2 水素化アモルファス･シリコン膜(a-Si:H)
1.3 微結晶シリコン膜(μc-Si:H)
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ プロセス ニ ヨリ サクセイシタ タイヨウ デンチヨウ シリコン ハクマク ノ キソ ケンキュウ
- Author/Editor
- 亀井利浩 [著]
- Author Heading
- 亀井, 利浩 カメイ, トシヒロ
- Degree grantor/type
- 京都大学
- Date Granted
- 平成12年1月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 乙第10291号
- Degree Type
- 博士 (理学)