博士論文

半導体産業用材料の製法とキャラクタリゼーションに関する研究

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半導体産業用材料の製法とキャラクタリゼーションに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-C882
Bibliographic ID of National Diet Library
000000350197
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3165004
Material type
博士論文
Author
近藤明 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
明治大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 目次

    c-3

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1-1 はじめに

    p1

  • 1-2 半導体プロセスの概要と最近の動向

    p3

  • 1-3 半導体産業用炭化珪素材料

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
半導体産業用材料の製法とキャラクタリゼーションに関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ サンギョウヨウ ザイリョウ ノ セイホウ ト キャラクタリゼーション ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
近藤明 [著]
Author Heading
近藤, 明 コンドウ, アキラ
Degree grantor/type
明治大学
Date Granted
平成12年2月25日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
乙第301号
Degree Type
博士 (工学)