シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

• Material Type: 博士論文
• Title: シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価
• Title Transcription: シールドガタ アーク イオン プレーティングホウ ニ ヨル タンソケイ コウシツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ コウゾウ オヨビ キカイテキ セイシツ ヒョウカ
• Author/Editor: 田島信宏 [著]
• Author Heading: 田島, 信宏 タジマ, ノブヒロ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成12年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第4691号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-D313
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000350625; http://id.ndl.go.jp/bib/000000350625
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 硬質材料

1-2 窒化炭素

1-3 シールド型アークイオンプレーティング