走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研究の目的
p8
1.3 本論文の構成
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ソウサガタ トンネル ケンビキョウ オ モチイタ ゴクウス シリコン サンカマク ノ ケイセイ オヨビ レッカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 大毛利健治 [著]
- Author Heading
- 大毛利, 健治 オオモリ, ケンジ
- Degree grantor/type
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成12年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 甲第4710号
- Degree Type
- 博士 (工学)