超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究
• Title Transcription: チョウコウシュウセキ カイロ ノ ハイセンヨウ ドウ ハクマク ノ カガク キソウ セイチョウ ト ソノ マク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 小林明子 [著]
• Author Heading: 小林, 明子 コバヤシ, アキコ
• Degree grantor/type: 上智大学
• Date Granted: 平成12年3月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第168号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-D672
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000350984; http://id.ndl.go.jp/bib/000000350984
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文要旨

目次

1 序論

1.1 背景

1.2 本研究の目的