高速化、微細化、高信頼化に対応可能なULSIアルミ配線技術実現のための一方策

• Material Type: 博士論文
• Title: 高速化、微細化、高信頼化に対応可能なULSIアルミ配線技術実現のための一方策
• Title Transcription: コウソクカ 、 ビサイカ 、 コウシンライカ ニ タイオウ カノウナ ULSI アルミ ハイセン ギジュツ ジツゲン ノ タメ ノ イチ ホウサク
• Author/Editor: 新海聡子 [著]
• Author Heading: 新海, 聡子 シンカイ, サトコ
• Degree grantor/type: 北見工業大学
• Date Granted: 平成12年3月17日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第4号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-E474
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000351767; http://id.ndl.go.jp/bib/000000351767
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 ULSIの背景と動向

1.2 次世代配線材料としてのAlと微細化の問題

1.3 高速化を加味した高融点金属の選択