リソグラフィー用エキシマレーザー内の放電過程と出力改善に関する研究
Available with Digitized Contents Transmission Service
Find on the publisher's website
国立国会図書館デジタルコレクション
Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.
Search by Bookstore
Read this material in an accessible format.
Table of Contents
目次
p1
第1章 序諭
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研の意義と要約
p3
1.3 本論文の構成
p4
Search by Bookstore
Read in Disability Resources
- Mina Search
- プレーンテキスト
Registered users of Mina Search can download or stream this content.
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- リソグラフィーヨウ エキシマ レーザーナイ ノ ホウデン カテイ ト シュツリョク カイゼン ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 片岡直紀 [著]
- Author Heading
- 片岡, 直紀 カタオカ, ナオキ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成12年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 甲第5241号
- Degree Type
- 博士 (工学)