Low temperature growth of polycrystalline GaN-based thin films by RF plasma enhanced chemical vapor deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Low temperature growth of polycrystalline GaN-based thin films by RF plasma enhanced chemical vapor deposition
• Author/Editor: 朴斗哲 [著]
• Author Heading: 朴, 斗哲 バク, ドウチョル
• Alternative Title: RFプラズマ化学堆積法による多結晶GaN系薄膜の低温成長に関する研究 RF プラズマ カガク タイセキホウ ニ ヨル タケッショウ GaNケイ ハクマク ノ テイオン セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成12年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第8380号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-F284
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000352525; http://id.ndl.go.jp/bib/000000352525
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

CONTENTS

Chapter 1 Introduction

1.1 Backgrounds

1.2 Purpose of This Study