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博士論文

シングルイオン注入法による微小半導体の電気的特性制御に関する研究

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NDL Digital Collections

シングルイオン注入法による微小半導体の電気的特性制御に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-F561
Bibliographic ID of National Diet Library
000000352802
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3167610
Material type
博士論文
Author
品田賢宏 [著]
Publisher
-
Date granted
平成12年3月15日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
早稲田大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景および目的

    p1

  • 1.2 本研究の概要

    p6

  • 第2章 シングルイオン注入法の開発

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シングルイオン注入法による微小半導体の電気的特性制御に関する研究
Title Transcription
シングル イオン チュウニュウホウ ニ ヨル ビショウ ハンドウタイ ノ デンキテキ トクセイ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
品田賢宏 [著]
Author Heading
品田, 賢宏 シナダ, タカヒロ
Degree Grantor
早稲田大学
Date Granted
平成12年3月15日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
甲第1435号
Degree Type
博士 (工学)