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フォトレジスト用現像液高純度試薬-水酸化テトラメチルアンモニウム-の開発研究

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Material Type: 博士論文
Title: フォトレジスト用現像液高純度試薬-水酸化テトラメチルアンモニウム-の開発研究
Title Transcription: フォトレジストヨウゲンゾウエキコウジュンドシヤク - スイサンカテトラメチルアンモニウム - ノカイハツケンキュウ
Author/Editor: 八木修 [著]
Author Heading: 八木, 修ヤギ, オサム
Degree grantor/type: 早稲田大学
Date Granted: 平成11年6月17日
Date Granted (W3CDTF): 1999
Dissertation Number: 乙第1477号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2000-F602
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000352843
http://id.ndl.go.jp/bib/000000352843
Bibliographic Record Category (NDL): 213