大規模集積回路における高誘電率絶縁膜キャパシタに関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 本研究の目的
p5
1.3 本論文の構成と概要
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ダイキボ シュウセキ カイロ ニ オケル コウユウデンリツ ゼツエンマク キャパシタ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 青山知憲 [著]
- Author Heading
- 青山, 知憲 アオヤマ, トモノリ
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 平成12年3月2日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 乙第1518号
- Degree Type
- 博士 (工学)