シリコンの微細加工のためのナノ構造制御に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 限界に近づきつつある半導体ウェーハ表面の微細加工
p1
1.2 微細加工にブレークスルーをもたらす表面微細構造の制御
p2
1.3 本研究の目的と意義
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ノ ビサイ カコウ ノ タメ ノ ナノ コウゾウ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 田中英行 [著]
- Author Heading
- 田中, 英行 タナカ, ヒデユキ
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 平成12年3月2日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 乙第1530号
- Degree Type
- 博士 (工学)