Modeling of the microstructure and the optical properties for PVD thin films

• Material Type: 博士論文
• Title: Modeling of the microstructure and the optical properties for PVD thin films
• Author/Editor: 張偉 [著]
• Author Heading: 張, 偉 チョウ, イ
• Alternative Title: PVDの薄膜の微細構造モデリング光学動特性 PVD ノ ハクマク ノ ビサイ コウゾウ モデリング コウガク ドウトクセイ
• Degree grantor/type: 東北工業大学
• Date Granted: 平成12年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第2号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-F983
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000353224; http://id.ndl.go.jp/bib/000000353224
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Abstract

Contents

Chp.1 Introduction

1.1 Basic Concept

1.2 History and Current Situation