液相堆積シリコン酸化膜の集積回路への応用
Available with Digitized Contents Transmission Service
Find on the publisher's website
国立国会図書館デジタルコレクション
Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.
Search by Bookstore
Read this material in an accessible format.
Table of Contents
目次
p5
第1章 序論
p1
1.1 背景
p1
1.2 超集積回路の21世紀への課題
p4
1.3 低温プロセスの必要性
p12
Search by Bookstore
Read in Disability Resources
- Mina Search
- プレーンテキスト
Registered users of Mina Search can download or stream this content.
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- エキソウ タイセキ シリコン サンカマク ノ シュウセキ カイロ エノ オウヨウ
- Author/Editor
- Chanthamaly, Phonekeo [著]
- Author Heading
- Chanthamaly, Phonekeo チャンタマリー, ポーンケオ
- Degree grantor/type
- 横浜国立大学
- Date Granted
- 平成12年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 甲第401号
- Degree Type
- 博士 (工学)