プラズマ励起を利用したMBE法によるGaN結晶成長とプラズマ励起効果に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p2
1.2 本研究の目的
p4
1.3 本論文の構成
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ レイキ オ リヨウシタ MBEホウ ニ ヨル GaN ケッショウ セイチョウ ト プラズマ レイキ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 千葉恭男 [著]
- Author Heading
- 千葉, 恭男 チバ, ヤスオ
- Degree grantor/type
- 立命館大学
- Date Granted
- 平成12年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 甲第162号
- Degree Type
- 博士 (工学)