超高真空電子ビーム描画装置の開発とナノファブリケーションに関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 ナノファブリケーション技術の比較
p1
1.3 電子ビーム技術の現状と展開
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チョウコウシンクウ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ ト ナノファブリケーション ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 廣島洋 [著]
- Author Heading
- 廣島, 洋 ヒロシマ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成12年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 乙第7982号
- Degree Type
- 博士 (工学)