博士論文

イオンビームミキシング法による三次系窒化膜の作製とその物性評価

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イオンビームミキシング法による三次系窒化膜の作製とその物性評価

Call No. (NDL)
UT51-2000-J838
Bibliographic ID of National Diet Library
000000356040
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3170849
Material type
博士論文
Author
中村勲 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
工学院大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 要旨

    p1

  • 目次

    p7

  • 博士学位論文要旨

    p1

  • 目次

    p7

  • 第1章 緒言

    p11

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
イオンビームミキシング法による三次系窒化膜の作製とその物性評価
Title Transcription
イオン ビーム ミキシングホウ ニ ヨル サンジケイ チッカマク ノ サクセイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ
Author/Editor
中村勲 [著]
Author Heading
中村, 勲 ナカムラ, イサオ
Degree grantor/type
工学院大学
Date Granted
平成12年3月31日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
甲第41号
Degree Type
博士 (工学)