博士論文

触媒CVD法によるシリコン膜の低温結晶化に関する研究

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触媒CVD法によるシリコン膜の低温結晶化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-K160
Bibliographic ID of National Diet Library
000000356345
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3171155
Material type
博士論文
Author
部家彰 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
北陸先端科学技術大学院大学,博士 (材料科学)
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Table of Contents

  • 博士論文要旨

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 液晶ディスプレイの新材料～低温多結晶シリコン膜～

    p3

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
触媒CVD法によるシリコン膜の低温結晶化に関する研究
Title Transcription
ショクバイ CVDホウ ニ ヨル シリコンマク ノ テイオン ケッショウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
部家彰 [著]
Author Heading
部家, 彰 ヘヤ, アキラ
Degree grantor/type
北陸先端科学技術大学院大学
Date Granted
平成12年3月28日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
甲第112号
Degree Type
博士 (材料科学)