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Ⅱ-Ⅳ族化合物半導体の低温エピタキシャル成長に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

Ⅱ-Ⅳ族化合物半導体の低温エピタキシャル成長に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-K853
Bibliographic ID of National Diet Library
000000357038
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3171847
Material type
博士論文
Author
野田大二 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
静岡大学,博士 (工学)
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Table of Contents

  • 目次

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 結晶成長技術

    p3

  • 1.3 リモートプラズマ励起MOCVD法の背景

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
Ⅱ-Ⅳ族化合物半導体の低温エピタキシャル成長に関する研究
Title Transcription
Ⅱ-Ⅳゾク カゴウブツ ハンドウタイ ノ テイオン エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
野田大二 [著]
Author Heading
野田, 大二 ノダ, ダイジ
Degree grantor/type
静岡大学
Date Granted
平成12年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
甲第221号
Degree Type
博士 (工学)