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博士論文

レーザビーム描画装置による回折型光学素子作製に関する研究

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レーザビーム描画装置による回折型光学素子作製に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-K877
Bibliographic ID of National Diet Library
000000357062
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3171871
Material type
博士論文
Author
恩田一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
静岡大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 緒言

    p4

  • 1.1 本研究の目的

    p4

  • 1.2 本研究の背景

    p4

  • 1.3 微細パターン描画方法

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
レーザビーム描画装置による回折型光学素子作製に関する研究
Title Transcription
レーザ ビーム ビョウガ ソウチ ニ ヨル カイセツガタ コウガク ソシ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
恩田一 [著]
Author Heading
恩田, 一 オンダ, ハジメ
Degree grantor/type
静岡大学
Date Granted
平成12年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
2000
Dissertation Number
乙第94号
Degree Type
博士 (工学)