光機能材料のための有機ケイ素化合物の合成及び評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 光機能材料のための有機ケイ素化合物の合成及び評価に関する研究
• Title Transcription: ヒカリ キノウ ザイリョウ ノ タメ ノ ユウキ ケイソ カゴウブツ ノ ゴウセイ オヨビ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 篠田勉 [著]
• Author Heading: 篠田, 勉 シノダ, ツトム
• Degree grantor/type: 東京都立大学
• Date Granted: 平成12年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第592号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-M151
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000358117; http://id.ndl.go.jp/bib/000000358117
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

1.1 感光性樹脂とシリコン含有レジスト

1.2 シリコン含有レジスト開発の現状と課題

1.3 本研究の特徴と意義