クリーンルーム空気中の化学汚染物質の高感度分析に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: クリーンルーム空気中の化学汚染物質の高感度分析に関する研究
• Title Transcription: クリーンルーム クウキチュウ ノ カガク オセン ブッシツ ノ コウカンド ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 藤本武利 [著]
• Author Heading: 藤本, 武利 フジモト, タケトシ
• Publication, Distribution, etc.: [藤本武利]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree Grantor: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成12年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第634号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-P608
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000390157; http://id.ndl.go.jp/bib/000000390157
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

第1節 クリーンルーム空気中の科学汚染物質

1.1 半導体の集積度の変遷

1.2 対象となる汚染物質の変遷