プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究
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論文目録
目次
第1章 序論
p1
1.1 共鳴プローブ法におけるプラズマ･シース共鳴の歴史
p3
1.2 容量結合型プラズマリアクターにおけるプラズマ･シース共鳴の研究動向
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ シース キョウメイ オ モチイタ ヨウリョウセイ ケツゴウ プラズマ ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 後藤直彦 [著]
- Author Heading
- 後藤, 直彦 ゴトウ, ナオヒコ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2000]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree Grantor
- 慶應義塾大学