博士論文

水素化アモルファスシリコン成膜プロセスにおける高次シランの役割

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国立国会図書館デジタルコレクション

水素化アモルファスシリコン成膜プロセスにおける高次シランの役割

Call No. (NDL)
UT51-2000-R576
Bibliographic ID of National Diet Library
000000393258
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3177164
Material type
博士論文
Author
鈴木淳 [著]
Publisher
[鈴木淳]
Publication date
[2000]
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p3

  • 1.1 背景

    p3

  • 1.2 本研究の目的

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
水素化アモルファスシリコン成膜プロセスにおける高次シランの役割
Title Transcription
スイソカ アモルファス シリコン セイマク プロセス ニ オケル コウジ シラン ノ ヤクワリ
Author/Editor
鈴木淳 [著]
Author Heading
鈴木, 淳 スズキ, アツシ
Publication, Distribution, etc.
[鈴木淳]
Publication Date
[2000]
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京工業大学