Three-Dimensional Integration Technology for Integrated Micro-Systems

• Material Type: 博士論文
• Title: Three-Dimensional Integration Technology for Integrated Micro-Systems
• Author/Editor: 李康旭 [著]
• Author Heading: 李, 康旭 リ, カンウク
• Publication, Distribution, etc.: [李康旭]
• Publication Date: [2000]
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 集積化マイクロシステムのための三次元集積化技術 シュウセキカ マイクロ システム ノ タメ ノ サンジゲン シュウセキカ ギジュツ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成12年9月13日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第7593号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-S798
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394366; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394366
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1.Introduction

2.Three-Dimensional(3D)Integration Technology for Integrated Micro-Systems

2.1.Introduction

2.2.Advantages of 3D LSI