Studies on Novel Positive-tone Photoresists Using Polymer Langmuir-Blodgett Films

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on Novel Positive-tone Photoresists Using Polymer Langmuir-Blodgett Films
• Author/Editor: 郭銀忠 [著]
• Author Heading: 郭, 銀忠 カク, ギンチュウ
• Publication, Distribution, etc.: [郭銀忠]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高分子ラングミュアーブロジェット膜を用いた新規ポジ型フォトレジストに関する研究 コウブンシ ラングミュアー ブロジェット マク オ モチイタ シンキ ポジガタ フォトレジスト ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成12年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第7443号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-S648
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394449; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394449
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

Chapter1 General introduction

1.1 lithography technology

1.2 Photolithography

1.3 Langmuir-Blodgett film