多軸運動を同時検出するためのシリコン静電容量型センサの研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p5
1.1 研究の背景
p5
1.2 半導体加速度センサ
p6
1.3 研究の目的
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タジク ウンドウ オ ドウジ ケンシュツ スル タメ ノ シリコン セイデンヨウリョウガタ センサ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 水野潤 [著]
- Author Heading
- 水野, 潤 ミズノ, ジュン
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2000]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東北大学