Structural and electrical study of microcrystalline silicon formed by hydrogen radical induced chemicalvapor deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Structural and electrical study of microcrystalline silicon formed by hydrogen radical induced chemicalvapor deposition
• Author/Editor: Nobuyuki Andoh 著
• Author Heading: 安藤, 伸行 アンドウ, ノブユキ
• Publication, Distribution, etc.: [Nobuyuki Andoh]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 水素ラジカルCVD法により形成した微結晶シリコンの構造的・電気的特性の評価 スイソ ラジカル CVD ホウ ニ ヨリ ケイセイシタ ビケッショウ シリコン ノ コウゾウテキ デンキテキ トクセイ ノ ヒョウカ
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成12年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第260号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-A342
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000395799; http://id.ndl.go.jp/bib/000000395799
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

CHAPTER 1 INTRODUCTION

1-1.INTRODUCTION AND MOTIVATION

1-2.COMPOSITION

CHAPTER 2 EXEPERIMENTAL SYSTEMS