博士論文

プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発

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プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発

Call No. (NDL)
UT51-2001-A783
Bibliographic ID of National Diet Library
000000395805
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3179163
Material type
博士論文
Author
湯之上隆 [著]
Publisher
[湯之上隆]
Publication date
2000
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 プラズマエッチングによる微細加工の原理

    p1

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発
Title Transcription
プラズマ エッチング ニ ヨル ハンドウタイ ソシ ノ ビサイカ ノ カダイ ニ カンスル ケンキュウ カイハツ
Author/Editor
湯之上隆 [著]
Author Heading
湯之上, 隆 ユノガミ, タカシ
Publication, Distribution, etc.
[湯之上隆]
Publication Date
2000
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
1冊
Degree grantor/type
京都大学