プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発

• Material Type: 博士論文
• Title: プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発
• Title Transcription: プラズマ エッチング ニ ヨル ハンドウタイ ソシ ノ ビサイカ ノ カダイ ニ カンスル ケンキュウ カイハツ
• Author/Editor: 湯之上隆 [著]
• Author Heading: 湯之上, 隆 ユノガミ, タカシ
• Publication, Distribution, etc.: [湯之上隆]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree Grantor: 京都大学
• Date Granted: 平成13年1月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第10591号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-A783
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000395805; http://id.ndl.go.jp/bib/000000395805
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 プラズマエッチングによる微細加工の原理