超LSI用金属配線のためのアモルファスバリアメタルの研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 超LSI用金属配線のためのアモルファスバリアメタルの研究
• Title Transcription: チョウ LSI ヨウ キンゾク ハイセン ノ タメ ノ アモルファス バリア メタル ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 飯島匡 [著]
• Author Heading: 飯島, 匡 イイジマ, タダシ
• Publication, Distribution, etc.: [飯島匡]
• Publication Date: [2000]
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: Study of amorphous barriermetals for ULSI interconnections
• Degree Grantor: 東京農工大学
• Date Granted: 平成12年12月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第52号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-D461
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000398151; http://id.ndl.go.jp/bib/000000398151
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

･ULSI技術開発ロードマップ

･Cu配線

･バリアメタル薄膜化