Studies on Development of Measurement Technique of Absolute Densities of Atomic Species in Reactive Plasma Process Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy with Microdischarge Hollow Cathode Lamp

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on Development of Measurement Technique of Absolute Densities of Atomic Species in Reactive Plasma Process Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy with Microdischarge Hollow Cathode Lamp
• Author/Editor: Seigou Takashima [著]
• Author Heading: 高島, 成剛 タカシマ, セイゴウ
• Publication, Distribution, etc.: [Seigou Takashima]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: マイクロ放電ホローカソードランプを用いた真空紫外吸収分光法による反応性プラズマプロセス中の原子種の絶対密度計測技術の開発に関する研究 マイクロ ホウデン ホロー カソード ランプ オ モチイタ シンクウ シガイ キュウシュウ ブンコウホウ ニ ヨル ハンノウセイ プラズマ プロセス チュウ ノ ゲンシシュ ノ ゼッタイ ミツド ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成13年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第5081号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-D238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000398612; http://id.ndl.go.jp/bib/000000398612
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1.Introduction

1.1 Plasma processing

1.2 Outline of plasma processing

1.3 Previous studies on neutral species in light-emitting excited states,ionic species, electrons in plasmas