Studies on Microcrystalline Silicon Film Growth in High-Density Silane and Hydrogen Plasma

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on Microcrystalline Silicon Film Growth in High-Density Silane and Hydrogen Plasma
• Author/Editor: Kazuya Murata [著]
• Author Heading: 村田, 和哉 ムラタ, カズヤ
• Publication, Distribution, etc.: [Kazuya Murata]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高密度シラン・水素プラズマによる微結晶シリコン薄膜の成長に関する研究 コウミツド シラン スイソ プラズマ ニ ヨル ビケッショウ シリコン ハクマク ノ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成13年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第5085号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-D242
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000398620; http://id.ndl.go.jp/bib/000000398620
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

Chapter 1 Introduction

1.1 Application of polycrystalline and microcrystalline silicon films to microelectric devices

1.2 Previous studies on formation processes and formation models of polycrystalline and microcrystalline silicon films

1.3 Purpose and composition of this thesis