RFスパッタリング法によるAl添加ZnO透明導電薄膜の作製と評価

• Material Type: 博士論文
• Title: RFスパッタリング法によるAl添加ZnO透明導電薄膜の作製と評価
• Title Transcription: RF スパッタリングホウ ニ ヨル Al テンカ ZnO トウメイ ドウデン ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
• Author/Editor: 辻隆志 [著]
• Author Heading: 辻, 隆志 ツジ, タカシ
• Publication, Distribution, etc.: [辻隆志]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 千葉大学
• Date Granted: 平成13年3月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第2211号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-D728
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000398707; http://id.ndl.go.jp/bib/000000398707
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文要旨

目次

第1章 緒論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的