荷電粒子線を利用したその場観察・加工法による材料ナノプロセスの研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 荷電粒子線を利用したその場観察・加工法による材料ナノプロセスの研究
• Title Transcription: カデン リュウシセン オ リヨウ シタ ソノ バ カンサツ カコウホウ ニ ヨル ザイリョウ ナノプロセス ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 田中美代子 [著]
• Author Heading: 田中, 美代子 タナカ, ミヨコ
• Publication, Distribution, etc.: [田中美代子]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: In-situ observation and fabrication of nano-processed materials in the charged beams
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成13年3月8日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第1609号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-E173
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000399836; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399836
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

1.緒言

1.1.材料ナノプロセスの発展に果たした荷電粒子線の貢献と今後の方向性

1.2.電子顕微鏡内その場観察法の特徴と本研究の目的

1.3.集束イオンビーム加工プロセスの特徴