半導体ドライエッチング技術と中性フッ素ラジカルの制御に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 半導体ドライエッチングプロセスの現状
p2
1.3 ドライエッチングおよびプラズマプロセスの評価技術
p14
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ ト チュウセイ フッソ ラジカル ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 清水正男 [著]
- Author Heading
- 清水, 正男 シミズ, マサオ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 大阪大学