シンクロトロン放射光リソグラフィによる高アスペクト比超微細構造の製作に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シンクロトロン放射光リソグラフィによる高アスペクト比超微細構造の製作に関する研究
• Title Transcription: シンクロトロン ホウシャコウ リソグラフィ ニ ヨル コウ アスペクト ヒ チョウビサイ コウゾウ ノ セイサク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 上野洋 [著]
• Author Heading: 上野, 洋 ウエノ, ヒロシ
• Publication, Distribution, etc.: [上野洋]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 立命館大学
• Date Granted: 平成13年3月31日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第199号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-J847
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000404821; http://id.ndl.go.jp/bib/000000404821
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒言

1.1 研究の背景と目的

1.2 シンクロトロン放射光リソグラフィを用いた研究の経緯

1.3 本論文の概要