電界電子放射顕微鏡法を用いた極高真空領域における圧力の動的計測に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 電界電子放射顕微鏡法を用いた極高真空領域における圧力の動的計測に関する研究
• Title Transcription: デンカイ デンシ ホウシャ ケンビキョウ ホウ オ モチイタ ゴクコウ シンクウ リョウイキ ニ オケル アツリョク ノ ドウテキ ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 岩田達夫 [著]
• Author Heading: 岩田, 達夫 イワタ, タツオ
• Publication, Distribution, etc.: [岩田達夫]
• Publication Date: [2001]
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東海大学
• Date Granted: 平成13年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第404号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-J899
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000404940; http://id.ndl.go.jp/bib/000000404940
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 エレクトロニクスにおける真空の重要性と歴史

1.2 従来型真空計測法の限界と解決法

1.3 動的圧力計測を可能にする電界電子放射型真空計の開発