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博士論文

表面活性化法によるシリコンウェハの常温接合

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国立国会図書館デジタルコレクション

表面活性化法によるシリコンウェハの常温接合

Call No. (NDL)
UT51-2001-Q132
Bibliographic ID of National Diet Library
000000411905
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3189942
Material type
博士論文
Author
高木秀樹 [著]
Publisher
[高木秀樹]
Publication date
[1999]
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p11

  • 1.3 本論文の構成

    p13

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
表面活性化法によるシリコンウェハの常温接合
Title Transcription
ヒョウメン カッセイカホウ ニ ヨル シリコン ウェハ ノ ジョウオン セツゴウ
Author/Editor
高木秀樹 [著]
Author Heading
高木, 秀樹 タカギ, ヒデキ
Publication, Distribution, etc.
[高木秀樹]
Publication Date
[1999]
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京大学