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最新半導体工場自動化システム総合技術集成

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Material Type: 図書
Title: 最新半導体工場自動化システム総合技術集成
Title Transcription: サイシンハンドウタイコウジョウジドウカシステムソウゴウギジュツシュウセイ
Author/Editor: 中村正克, 藍光郎編
Author Heading: 中村, 正克ナカムラ, マサカツ ( 00157785 )Authorities
藍, 光郎アイ, ミツオ ( 00156423 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : サイエンスフォーラム
Publication Date: 1984.7
Publication Date (W3CDTF): 1984
Extent: 1冊
Size: 31cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 限定版
Note (Bibliography): 各章末: 参考文献
Price: 49500円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-206
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000001806503
http://id.ndl.go.jp/bib/000001806503
National Bibliography No. (JPNO): 86045358
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111