最新半導体工場自動化システム総合技術集成

• Material Type: 図書
• Title: 最新半導体工場自動化システム総合技術集成
• Title Transcription: サイシン ハンドウタイ コウジョウ ジドウカ システム ソウゴウ ギジュツ シュウセイ
• Author/Editor: 中村正克, 藍光郎 編
• Author Heading: 中村, 正克 ナカムラ, マサカツ ( 00157785 )Authorities; 藍, 光郎 アイ, ミツオ ( 00156423 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : サイエンスフォーラム
• Publication Date: 1984.7
• Publication Date (W3CDTF): 1984
• Extent: 1冊
• Size: 31cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
• NDC 8th ed.: 549.8
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (General): 限定版
• Note (Bibliography): 各章末: 参考文献
• Price: 49500円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-206
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000001806503; http://id.ndl.go.jp/bib/000001806503
• National Bibliography No. (JPNO): 86045358
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111