超高純度ガス供給系(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム)

Notes on use

Note (General)：: コーディネーター: 大見忠弘付 (別冊44p 26cm) : 半導体用ガス配管系の高性能化会期・会場: 昭和60年11月27日～29日東京鴻池ビル

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 超高純度ガス供給系
Title Transcription: チョウコウジュンドガスキョウキュウケイ
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : リアライズ社
Publication Date: [1985]
Publication Date (W3CDTF): 1985
Extent: 366p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ガス管ガスカン ( 00562266 )Authorities
ガス器具ガスキグ ( 00562268 )Authorities
半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 534.6
NDLC: NB113
Target Audience: 一般
Note (General): コーディネーター: 大見忠弘
付 (別冊44p 26cm) : 半導体用ガス配管系の高性能化
会期・会場: 昭和60年11月27日～29日東京鴻池ビル
Price: 20000円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: NB113-E2
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000001896401
http://id.ndl.go.jp/bib/000001896401
National Bibliography No. (JPNO): 88014968
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111