Jump to main content
図書

超純水・高純度薬品供給系 : プロシーディング (超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.2)

Icons representing 図書
The cover of this title could differ from library to library. Link to Help Page

超純水・高純度薬品供給系 : プロシーディング(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.2)

Call No. (NDL)
ND371-E4
Bibliographic ID of National Diet Library
000001896424
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13650382
Material type
図書
Author
半導体基盤技術研究会 編
Publisher
リアライズ社
Publication date
1986.3
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
427p ; 30cm
NDC
549.8
View All

Notes on use

Note (General):

コーディネーター: 大見忠弘, 新田雄久会期・会場: 昭和61年3月19日~21日 東京発明会館ホール

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper Digital

Material Type
図書
Title Transcription
チョウジュンスイ コウジュンド ヤクヒン キョウキュウケイ : プロシーディング
Author/Editor
半導体基盤技術研究会 編
Author Heading
半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1986.3
Publication Date (W3CDTF)
1986
Extent
427p