トータルクリーンシステム : プロシーディング (超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.3)

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国立国会図書館デジタルコレクション

トータルクリーンシステム : プロシーディング(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.3)

Call No. (NDL): ND371-E5
Bibliographic ID of National Diet Library: 000001896425
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13650377

Material type: 図書

Author: 半導体基盤技術研究会編

Publisher: リアライズ社

Publication date: 1986.7

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 355p ; 30cm

NDC: 549.8

Notes on use

Note (General)：: コーディネーター: 大見忠弘, 新田雄久会期・会場: 昭和61年7月10日～12日東京発明会館ホール

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: トータルクリーンシステム : プロシーディング
Title Transcription: トータルクリーンシステム : プロシーディング
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.3
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : リアライズ社
Publication Date: 1986.7
Publication Date (W3CDTF): 1986
Extent: 355p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): コーディネーター: 大見忠弘, 新田雄久
会期・会場: 昭和61年7月10日～12日東京発明会館ホール
Price: 25000円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E5
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000001896425
http://id.ndl.go.jp/bib/000001896425
National Bibliography No. (JPNO): 88014992
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111