クリーンルーム及びその付帯設備 : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.9)

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Note (General)：: 英語書名: Cleanroom and specialized facilities 英文併記会期・会場: 平成元年6月29日～7月1日全電通ホール

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Material Type: 図書
Title: クリーンルーム及びその付帯設備 : Proceeding
Title Transcription: クリーンルームオヨビソノフタイセツビ
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.9
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1989.6
Publication Date (W3CDTF): 1989
Extent: 322p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: クリーンルームクリーンルーム ( 01062001 )Authorities
半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 528.2
NDLC: NA266
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Cleanroom and specialized facilities 英文併記
会期・会場: 平成元年6月29日～7月1日全電通ホール
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: NA266-E29
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002110663
http://id.ndl.go.jp/bib/000002110663
National Bibliography No. (JPNO): 91045298
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111