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サブミクロンULSIプロセス技術 : プロシーディング [1] (超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.7)

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国立国会図書館デジタルコレクション

サブミクロンULSIプロセス技術 : プロシーディング. [1](超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.7)

Call No. (NDL)
ND386-E145
Bibliographic ID of National Diet Library
000002110687
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13649621
Material type
図書
Author
半導体基盤技術研究会 編
Publisher
リアライズ社
Publication date
1988.7
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
269p ; 30cm
NDC
549.7
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Notes on use

Note (General)：

コーディネーター: 大見忠弘, 新田雄久付 (別冊 31p)会期・会場: 昭和63年7月21日～23日 経団連会館

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Paper Digital

Material Type
図書
Title
サブミクロンULSIプロセス技術 : プロシーディング
Title Transcription
サブミクロン ユーエルエスアイ プロセス ギジュツ : プロシーディング
Volume
[1]
Author/Editor
半導体基盤技術研究会 編
Series Title
超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.7
Author Heading
半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
東京 : リアライズ社
Publication Date
1988.7
Publication Date (W3CDTF)
1988