半導体製造のためのclosed manufacturing system : proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.12)

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Available in National Diet Library

国立国会図書館デジタルコレクション

半導体製造のためのclosed manufacturing system : proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.12)

Call No. (NDL): ND371-E86
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002110689
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649495

Material type: 図書

Author: 半導体基盤技術研究会編

Publisher: 半導体基盤技術研究会

Publication date: 1990.11

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 354p ; 30cm

NDC: 549.8

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Notes on use

Note (General)：: 英語書名: Closed semiconductor manufacturing system 英文併記会期・会場: 1990年11月19日～21日日本コンベンションセンター幕張メッセ

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: 半導体製造のためのclosed manufacturing system : proceeding
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウノタメノクロウズドマニュファクチュアリングシステム
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.12
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1990.11
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 354p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Closed semiconductor manufacturing system 英文併記
会期・会場: 1990年11月19日～21日日本コンベンションセンター幕張メッセ
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E86
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002110689
http://id.ndl.go.jp/bib/000002110689
National Bibliography No. (JPNO): 91045324
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111