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イオンビームによる薄膜設計 (表面・薄膜分子設計シリーズ ; 15)

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イオンビームによる薄膜設計(表面・薄膜分子設計シリーズ ; 15)

Call No. (NDL)
ND371-E95
Bibliographic ID of National Diet Library
000002133895
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13665318
Material type
図書
Author
山田公 著
Publisher
共立出版
Publication date
1991.9
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
114p ; 19cm
NDC
549
View All

Notes on use

Note (General):

叢書の編者: 日本表面科学会

Detailed bibliographic record

Summary, etc.:

イオンビームの作用、役割から種々の薄膜形成法及び形成した薄膜の応用までをわかり易く解説。(Provided by: 出版情報登録センター(JPRO))

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Table of Contents

Provided by:出版情報登録センター(JPRO)Link to Help Page
  • 第1章 薄膜の形成

  • 第2章 イオンビームの作用

  • 第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法

  • 第4章 プラズマ中での薄膜形成法

  • 第5章 真空中での薄膜形成法

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    Book Registration Number:
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Paper Digital

Material Type
図書
ISBN
4-320-08515-9
Title Transcription
イオン ビーム ニ ヨル ハクマク セッケイ
Author/Editor
山田公 著
Author Heading
山田, 公, 1936- ヤマダ, イサオ, 1936- ( 00212816 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1991.9
Publication Date (W3CDTF)
1991