実験物理学講座. 8

• Material Type: 図書
• ISBN: 4-320-03063-X
• Title: 実験物理学講座
• Title Transcription: ジッケン ブツリガク コウザ
• Volume: 8
• Author/Editor: 近角聡信 [ほか]企画編集
• Author Heading: 近角, 聡信, 1922- チカスミ, ソウシン, 1922- ( 00084092 )Authorities; 権藤, 靖夫, 1926- ゴンドウ, ヤスオ, 1926- ( 00212069 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 共立出版
• Publication Date: 1992.9
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 418p
• Size: 22cm
• Additional Title: 薄膜 ハクマク
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 物理学--実験 ブツリガク ジッケン ( 00561124 )Authorities; 薄膜 ハクマク ( 00562857 )Authorities
• NDC 8th ed.: 420.72
• NDLC: MC61
• Target Audience: 一般
• Price: 13390円 (税込)
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: 422-Z27
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000002202190; http://id.ndl.go.jp/bib/000002202190
• National Bibliography No. (JPNO): 92064976
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Contents: 薄膜 / 権藤靖夫 責任編集薄膜製作技術 真空蒸着法 末沢慶孝,権藤靖夫著. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛著. スパッタ法 中井順吉著. 化学的方法 有住徹弥著. 薄膜 導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜 中井順吉著. 磁性薄膜 角野圭一著. 超伝導薄膜 菅原昌敬著. 人工格子膜 新庄輝...
• Summary, etc.: 第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し、第II部では導電体薄膜、誘電体薄膜、半導体薄膜、磁性薄膜、超電導薄膜、人工格子膜の物性について、薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)

Table of Contents

目次

I． 薄膜製作技術

1． 真空蒸着法 末澤慶孝・権藤靖夫

1・1 はしがき

1・2 真空蒸着過程