健全な繁栄を継続するための半導体製造技術 : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; 第18回)

Call No. (NDL): ND371-E179
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002291720
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649564

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1993.4

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 204p ; 30cm

NDC: 549.8

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Notes on use

Note (General)：: 英語書名: Advanced semiconductor manufacturing system for highly profitable production 英文併記付 (4p)期日・会場: 1993年4月12・13日大宮ソニックシティ小ホール

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: 健全な繁栄を継続するための半導体製造技術 : Proceeding
Title Transcription: ケンゼンナハンエイオケイゾクスルタメノハンドウタイセイゾウギジュツ
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; 第18回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1993.4
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 204p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Advanced semiconductor manufacturing system for highly profitable production 英文併記
付 (4p)
期日・会場: 1993年4月12・13日大宮ソニックシティ小ホール
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E179
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002291720
http://id.ndl.go.jp/bib/000002291720
National Bibliography No. (JPNO): 94013397
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111