Advanced semiconductor manufacturing system : Proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; 第14回)

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国立国会図書館デジタルコレクション

Advanced semiconductor manufacturing system : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; 第14回)

Call No. (NDL): ND371-E178
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002291728
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649571

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1991.10

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 235p ; 30cm

NDC: 549.8

Notes on use

Note (General)：: 日英両文併載会期・会場: 1991年10月28日～30日大宮ソニックシティホール

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: Advanced semiconductor manufacturing system : Proceeding
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; 第14回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1991.10
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 235p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 日英両文併載
会期・会場: 1991年10月28日～30日大宮ソニックシティホール
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E178
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002291728
http://id.ndl.go.jp/bib/000002291728
National Bibliography No. (JPNO): 94013405
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111